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掃描電鏡(SEM)利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內(nèi)部電場或磁場等等。掃描電子顯微鏡對二次電子、背散射電子的采集，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像，可得到有關物質(zhì)微觀形貌的信息。掃描電鏡有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào);有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構;試樣制備簡單，不含水的樣本可以不用固定。
